ZnO2基氧化物半导体透明导电膜的中试和产业化

发布时间:2015-07-29 浏览:Loading...
? ? ? ? ZnO2基氧化物半导体透明导电膜材料是以金属锌的氧化物ZnO2为基,通过加入Ⅲ-Ⅴ族或ⅡⅥ族元素进行重掺杂,得到高导电性的透明导电氧化物。目前,已研制成功了两代ZnO2基氧化物半导体透明导电膜。第三代更高性能的Ⅲ型ZnO2基氧化物半导体透明导电膜正在研制中。ZnO2基氧化物半导体透明导电膜起初主要用作显示器的透明电极。随着制备技术的进展应用技术趋向多元化。目前,还在继续探索其新的用途,研究相关的应用技术,不断扩大其应用领域和市场容量。
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? ? ? ??第一代的Ⅰ型ZnO2基氧化物半导体透明导电膜,具有高于氧化铟锡(ITO)膜的红外反射率、与ITO膜相近的可见光透射率、以及略低于ITO膜但为同一数量级的电导率。第二代的Ⅱ型ZnO2基氧化物半导体透明导电膜,除具有全部高于膜的可见光透射率、红外反射率、电导率外,兼具有高的紫外线吸收率。
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? ? ? ??新技术采用真空磁控反应溅射技术,由合金靶材直接制备出ZnO2基氧化物半导体透明导电膜。
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? ? ? ??应用领域:作为透明电极可用于显示器驱动电极,其中包括液晶显示器、有机发光显示器、等离子体显示器、场致发光显示器等,光电探测器透明窗口电极,太阳能电池透明电极。作为透明红外反射节能膜可用于节能塑料贴膜,玻璃上镀节能膜。作为透明加热膜可用于防雾和防霜玻璃。作为紫外防护膜可用于专用紫外防护膜。具有广泛的应用前景。
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